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解鎖 90% 的良率:協(xié)作機(jī)器人如何提升半導(dǎo)體制造效率

#博客 · 2024-10-12

半導(dǎo)體行業(yè)在滿足對(duì)高效率和產(chǎn)品質(zhì)量日益增長(zhǎng)的需求方面面臨著重大挑戰(zhàn)。現(xiàn)代工廠必須提高產(chǎn)能,每月要生產(chǎn)數(shù)十萬(wàn)片晶圓。實(shí)現(xiàn)高良率也至關(guān)重要 —— 先進(jìn)工藝要求良率達(dá)到 90% 以上,成熟技術(shù)也至少需要 85%。

 

協(xié)作機(jī)器人(cobots)正在給半導(dǎo)體行業(yè)帶來(lái)變革,使制造商能夠滿足半導(dǎo)體產(chǎn)品不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求。它們能保持高度的一致性和精準(zhǔn)度,最大限度地減少人為錯(cuò)誤,從而提升整體產(chǎn)品質(zhì)量。協(xié)作機(jī)器人通過(guò)提高生產(chǎn)效率和改進(jìn)產(chǎn)品質(zhì)量,在應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,最終在競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境中助力行業(yè)實(shí)現(xiàn)目標(biāo)。

 

1. 半導(dǎo)體封裝的裝卸

協(xié)作機(jī)器人負(fù)責(zé)裝卸任務(wù),與封裝設(shè)備協(xié)同工作以完成半導(dǎo)體封裝流程。機(jī)器人從芯片分選機(jī)中取出引線框架,放入注塑機(jī),然后把裝滿樹(shù)脂的托盤(pán)裝入注塑機(jī)。大約 2 分鐘一個(gè)循環(huán)后,機(jī)器人取出成品托盤(pán)并放在貨架上。一個(gè)快速更換法蘭讓機(jī)器人能夠高效地處理不同的框架,提高裝卸效率。

 

2. 晶圓的裝卸

在晶圓加工過(guò)程中,人工操作容易出錯(cuò)且可能造成污染。協(xié)作機(jī)器人非常適合在各種機(jī)器中裝卸晶圓,確保整個(gè)過(guò)程操作精準(zhǔn)。它們能夠自動(dòng)把晶圓從存儲(chǔ)區(qū)轉(zhuǎn)移到加工設(shè)備,將損壞或污染的風(fēng)險(xiǎn)降到最低。這些機(jī)器人還能在無(wú)塵室環(huán)境中運(yùn)行,維持半導(dǎo)體制造所需的清潔標(biāo)準(zhǔn)。協(xié)作機(jī)器人自動(dòng)化不僅提高了效率、減少了人工勞動(dòng),還提升了物料搬運(yùn)的準(zhǔn)確性和一致性,有助于提高制造過(guò)程的整體生產(chǎn)率。

 

3. 芯片插入

人工檢查可能會(huì)損壞芯片,而且效率通常較低。傳統(tǒng)自動(dòng)化缺乏靈活性,難以滿足小批量、多樣化生產(chǎn)的需求。協(xié)作機(jī)器人可以配備吸盤(pán),從托盤(pán)中拾取芯片,進(jìn)行二次定位,然后將其插入印刷電路板測(cè)試板進(jìn)行質(zhì)量檢查。測(cè)試后,機(jī)器人把芯片整理到成品托盤(pán)中,降低了人為接觸損壞的風(fēng)險(xiǎn),提高了檢查效率。

 

4. 用 AMMR 復(fù)合協(xié)作機(jī)器人進(jìn)行物料搬運(yùn)

在芯片鍵合、引線鍵合、點(diǎn)膠和測(cè)試等過(guò)程中,協(xié)作機(jī)器人促進(jìn)了自動(dòng)化的物料轉(zhuǎn)移。物料搬運(yùn)解決方案由自動(dòng)導(dǎo)引車(chē)、CR5 協(xié)作機(jī)器人、物料存儲(chǔ)區(qū)和二維視覺(jué)系統(tǒng)組成。接到任務(wù)后,機(jī)器人移動(dòng)到指定站,掃描二維碼獲取坐標(biāo),然后對(duì)物料箱進(jìn)行精準(zhǔn)的裝卸,交換滿箱和空箱,接著移動(dòng)到下一個(gè)站。

 

5. 蜂窩 / WiFi 芯片的測(cè)試

對(duì)人類(lèi)來(lái)說(shuō)持續(xù)工作是有挑戰(zhàn)性的,會(huì)導(dǎo)致效率低下和錯(cuò)誤。Dobot 的集成解決方案包括一個(gè)帶有操作面板和不良材料存儲(chǔ)區(qū)的機(jī)架。這種設(shè)置允許一名操作員管理多達(dá) 24 個(gè)測(cè)試模塊,與之前 6 - 9 個(gè)模塊的容量相比,效率顯著提高。該解決方案提高了設(shè)備穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)過(guò)程的全自動(dòng)化。

 

6. 集成電路(IC)檢查

Dobot 的 MG400 被放置在一個(gè)緊湊的固定平臺(tái)上執(zhí)行重復(fù)任務(wù),幾乎不需要修改。協(xié)作機(jī)器人拾取材料并將其放在視覺(jué)檢查平臺(tái)上,在那里對(duì)集成電路進(jìn)行質(zhì)量檢查。經(jīng)核實(shí)的集成電路被移到合格托盤(pán),而缺陷品被放在不良托盤(pán),準(zhǔn)確率超過(guò) 99.9%。 從裝卸到檢查,協(xié)作機(jī)器人正在簡(jiǎn)化半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵流程。它們?cè)谔幚砭懿考r(shí)的精度確保了質(zhì)量的一致性,同時(shí)減少了人為錯(cuò)誤。

通過(guò)提高效率和提高良率,Dobot 協(xié)作機(jī)器人在滿足行業(yè)不斷變化的需求方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。隨著該行業(yè)的繼續(xù)變化,協(xié)作機(jī)器人的作用將進(jìn)一步擴(kuò)大,推動(dòng)金屬加工領(lǐng)域的創(chuàng)新和成長(zhǎng)。對(duì)于希望在快速變化的環(huán)境中保持競(jìng)爭(zhēng)力的制造商來(lái)說(shuō),采用這項(xiàng)技術(shù)至關(guān)重要,最終會(huì)帶來(lái)更高的效率和更好的產(chǎn)品質(zhì)量。

 

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